常圧プラズマ発生用高周波電圧形インバータのPDM制御法(小テーマ : スイッチングレギュレータ及び半導体電力変換一般)
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概要
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半導体製造工程に必要な低温プラズマを常圧下で発生させる一方式として,共振形高周波電源を用いた放電プラズマ方式が提案されている。これは,平行平板電極の静電容量と共振リアクトルによるLC直列共振を利用し,放電に必要な高電庄を発生させる方式であるが,電極間に一様な放電プラズマを得るためには,数周期ごとに電極電圧を急峻に低下させる間欠運転が必要になる。本論文では,共振形電源を構成する高周波電圧形インバータにPDM制御を適用することにより,このような間欠運転を実現する方法を提案する。一般的なPDM制御では,電力変動を低減するようなスイチングパターンが用いられるが,本論文のPDM制御では電極電圧を急峻に低下することを目的としており,積極的に電力変動を発生するスイッチングパターンを提案し,理論解析と放電実験によりその効果を確認した。
- 2003-05-02
著者
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