圧電モータを用いたナノメートルオーダ高精度リニアステージ

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概要

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• 近年,半導体の高集積化に代表されるように,精密機器の高精度化の要求はますます高まっている。特にナノメートルオーダ(以下ナノオーダ)の位置決めや等速性を有するステージが必要となり,ステージ性能が精密機器の性能を決定することが多くなってきた。ナノオーダで制御できるステージは,これまでも検討されてきたが,磁場変動や発熱が嫌われる特殊環境下において,ナノオーダで制御できるものはまだ実現されてはいない。その中,磁場変動がなく発熱の少ない圧電リニアモータ(以下,圧電モータ)が注目されている。しかし,圧電モータは,その特性上,ステージに振動を与えるので,これまでは敬遠されてきた.特にステージを秒速数μm程度の低速で移動させる場合は,圧電モータの駆動周波数を低くする必要があるため,振動変位が大きくなり,結局は圧電モータの使用は難しい状態であった。このため,筆者らは新しいナノオーダ精度のリニアステージを検討した。すなわち,圧電モータヘの駆動電圧波形や製造上の工夫を加え,ステージ振幅をナノオーダに低減し,ナノオーダの等速性を持つ高精度ステージを実現した。

• 社団法人日本音響学会の論文
• 2004-12-01

著者

• 富川 義朗

  山形大・工・電気電子

• 宗石 猛

  京セラ(株)ファインセラミック事業本部

• 富川 義朗

  山形大学理工学研究科システム情報工学専攻

• 宗石 猛

  京セラ(株)ファインセラミック事業本部:山形大学理工学研究科システム情報工学専攻

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