音響回路によって広帯域化した圧電型加速度センサ
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概要
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高感度型の加速度センサの設計においては、振動板の負荷容積を2重構造にすることが効果的である。振動板には圧電セラミックスを用い、電極を分割してシリーズに接続し、この出力をFET回路へ入力する。これによって両者の良好な整合を達成している。また、振動板の電圧分布から最大出力電圧を得る電極径を設定し、音響回路は共振点付近では小さい容積、それ以下の帯域では大きい容積が作動する構造になっており、これらによって高感度を得ている。試作品の感度は従来の製品とし比較して90Hzで約2倍となった。
- 社団法人日本音響学会の論文
- 1995-04-01