誘導結合プラズマ質量分析法によるモリブデン中の極微量ウラン及びトリウムの定量(<特集>品質管理・工程管理のための分析化学)

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概要

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• 超LSI電極材料として有望視されている金属モリブデン中の極微量U及びThの定量法について,誘導結合プラズマ質量分析計を用いて検討した.試料を塩酸と硝酸の混酸に溶解した溶液では,Moのマトリックス効果による負の干渉が認められた.そこで試料を上記の混酸で溶解し,蒸発乾固後1Mフッ化水素酸0.5M塩酸溶液とし,陰イオン交換樹脂でMoを吸着分離した.この流出液を蒸発乾固後,1M硝酸溶液とし,誘導結合プラズマ質量分析計でU及びThを測定した.その結果,高純度金属モリブデン中のU及びThが1ppbレベルで相対標準偏差25%程度で定量できた.

• 社団法人日本分析化学会の論文
• 1988-11-05

著者

• 河村 恒夫

  (株)コベルコ科研

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