イオンビームによる分析(<特集>表面・界面・薄膜と分析化学)

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概要

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• イオンビームを用いた, ラザフォード後方散乱法, チャネリング法, イオン散乱法, 反跳法, 核反応法, PIXE及びSIMS分析法の原理と応用について概説した.これらの方法は元素分析, 表面と界面の構造, 又, 不純物原子の分布とその格子中の位置, 結晶評価についての研究に非常に有効な方法であることを示した.

• 社団法人日本分析化学会の論文
• 1991-11-05

著者

• 藤本 文範

  岡山理科大学

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