光ディスクスタンパーの品質評価における非破壊分析法の検討
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概要
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光ディスクをつくるためには,高精密金型であるスタンパーが必要である.スタンパーの品質評価は非破壊分析が必要条件になるが,現状は破壊と非破壊分析の両方を併用して行っている.現在,品質評価に応用している非破壊分析は超音波及び超音波顕微鏡,光学及び蛍光顕微鏡,SEM,STM,磁化式応力型定,レーザ反射光測定である.これらの分析法の特色を生かしてスタンパーの品質評価技術としての応用を検討した.
- 社団法人日本分析化学会の論文
- 1992-11-05
著者
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