アレイ図形処理アルゴリズム
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概要
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集積回路の集積度の増大に伴いLSIマスクパターンは, 大規模化, 高密度化しており, 1チップ展開データを高速かつ少ないリソースで処理するマスクデータ作成ツールが必要となった。本稿では, メモリLSIの設計データのように, 同じ形状の図形が規則的に繰り返し多く置かれている図形データに対して, 多角形領域の分割アルゴリズムを使用し, X軸に平行な台形に分割した後, 各台形に繰り返し情報を付加した場合のデータ量について報告する。次に, 繰り返し情報の付加された台形データ(アレイデータ)を入力とするマスク作成に必要な層間の図形演算処理アルゴリズムの基本となる図形間の重なりを見つける方法及び, 重なりを表現するデータ構造について提案する。最後に, 提案したアルゴリズムでの実験結果について報告する。
- 一般社団法人情報処理学会の論文
- 1997-09-24