熱処理によるNd-Fe-B系垂直磁気異方性薄膜磁石材料の合成
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概要
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A high performance thin-film-magnet (e. g., _1H_c=1356 kA/m and (BH)_<max>〜216 kJ/m^3) can be fabricated by annealing an amorphous NdFeB film, using conventional infrared lamp furnace, to align the c-axis of Nd_2Fe_<14>B crystallites tightly normal to the film with high reproducibility. Microstructure investigations show that the the specific film structure resulting in high coercivity can be developed only from an amorphous film in which NdO crystallites of about 10 nm are dispersed. Pulsed laser annealing, using KrF excimer laser, was successfully applied for fabrication of an anisotropic NdFeB thin-film-magnet with _1H_c=1272 kA/m and (BH)_<max>〜161 kJ/m^3. This is a promising process for application of MEMS technology.
- 社団法人日本磁気学会の論文
- 2003-10-01
著者
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