ハードディスク用磁気ヘッドの静電気破壊
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概要
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It is well known that GMR heads used for hard disk drives (HDD) are very sensitive to ESD (electrostatic discharge). ESD damage is very complicated and there has many modes. In this report, we describe a method of categorizing ESD damage modes and related phenomena based on magnetic influences on the heads as observed by QST characteristics, electromagnetic characteristics such as off-track profiles, SEM observation, and cross section TEM. These ESD damage modes are classified into three types: hard ESD damage, soft ESD damage, and quasi-ESD damage. Other degradation modes are head scratch, corrosion, and electromigration. We also present an example of ESD damage that happened in an actual production process and its preventive measures as guidelines.
- 2004-10-01
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