熔融基板からの液相エピタキシによるSiC結晶成長

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概要

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• 日本結晶成長学会の論文
• 1979-07-05

著者

• 桜井 武

  シャープ中研

• 猪奥 年紀

  シャープ中研

• 土方 俊樹

  シャープ中研

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