GaAlAs MOCVD結晶の高品質化 : AsH_3ロットと成長条件の影響

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概要

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• 日本結晶成長学会の論文
• 1984-07-05

著者

• 中西 隆敏

  東芝総研

• 武藤 雄平

  東芝総研

• 山本 基幸

  東芝総研

• 大場 康夫

  東芝総研

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