22pA5 シリコン融液の蒸気圧測定(バルク成長シンポジウム)

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概要

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• The vapor pressures of Site) and Si_2(g) over Si (l) were measured with a time-of-flight mass-spectrometer equipped with a boron-nitride Knudsen cell. The third law values of vaporization of Si (g) and Si_2(g) were in agreement with the second law ones.

• 日本結晶成長学会の論文
• 1999-07-01

著者

• 松井 恒雄

  名大・工・量子工学専攻

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