スライドボート法によるアンドープGaAs液相エピタキシャル成長層中の残留不純物 : エピタキシー (LPE)

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概要

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• 日本結晶成長学会の論文
• 1976-06-25

著者

• 名西 穂之

  電々公社・武蔵野通研

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