化学溶液法による強誘電体薄膜の合成 : 不揮発性メモリへの応用を踏まえて(<小特集>化学的方法による機能性酸化物膜の合成)
スポンサーリンク
概要
- 論文の詳細を見る
Thin films of ferroelectric compounds such as Bi-based layer-structured perovskite (SrBi_2Ta_2O_9, CaBi_2Ta_2O_9, and BaBi_2Ta_2O_9) and Sr_2Nb_2O_7 family (Sr_2Nb_2O_7, Sr_2 Ta_2O_7, and Sr_2(Ta, Nb)_2O_7) were synthesized by using structure-controlled precursor solutions. Low temperature crystallization of the Bi-based layer-structured perovskite thin films was attained and the technique would be applied to fabrication of ferroelectric non-volatile memories . The Sr_2Nb_2O_7-family thin films exhibiting the relatively low dielectric constants have been considered to be good candi-dates for the memories with MFMIS (metal-ferroelectric-metal-insulator-semiconductor) structure. However, some crystallographic properties were clarified to imply the difficulty of the application.
- 日本結晶成長学会の論文
- 2000-08-25
著者
関連論文
- 太陽エネルギーを利用した大気中のNOxの光触媒除去
- 光触媒による水浄化 (生活環境関連材料特集)
- 膜状触媒を用いた有機塩素化合物の光触媒処理 (特集/水処理における紫外線利用の展開(1))
- 超電導プロジェクト第2期までの研究成果-1-超電導体の微粒子合成技術とバルク体化 (酸化物高温超電導体)
- 3B13 静電的手法による有機繊維テンプレートの配列制御 : 方向配列チタニアチューブの作製
- ゾルゲル法によるセラミックス超薄膜の形成技術に関する研究
- 新しいプロセスによる多孔質TiO2薄膜の設計と機能 (特集 InterMaterial[3])
- 化学修飾アルコキシド法による酸化チタンコ-ティング膜の構造制御と光電気化学的特性の向上
- ディップコーティング法により作製した酸化チタン多孔質膜の色素増感太陽電池への応用
- ナノ構造プロセス
- ゾル・ゲル法による高活性酸化チタン光触媒の合成
- 化学溶液法による強誘電体薄膜の合成 : 不揮発性メモリへの応用を踏まえて(化学的方法による機能性酸化物膜の合成)
- 1D08 トリプルアルコキシドから調製したビスマス系層状ペロブスカイト強誘電体薄膜の低温結晶化挙動
- 1D06 Sr_2Ta_2O_7 強誘電体薄膜の低温合成
- チタンテトライソプロポキシド-ジエタノールアミン系におけるアルコール交換反応のラマン分光法による検討