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水素-不活性ガス混合系におけるIII-V半導体の気相成長
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概要
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日本結晶成長学会の論文
1975-10-27
著者
水野 修
日電・中研
渡辺 久恒
日電・中研
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GaAs気相成長層の不純物ドーピング : 結晶成長
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