Ge_(1-x)Si_x単結晶のX線トポグラフィによる評価 : 評価

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概要

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• 日本結晶成長学会の論文
• 1992-06-25

著者

• 高野 幸男

  東京理科大学基礎工学研究科

• 小塚 弘次

  日立製作所中央研究所

• 高野 幸男

  東京理科大学基礎工学部材料工学科

• 隅谷 崇

  東京理科大学基礎工学部材料工学科

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