SiのLPE横方向エピタキシャル成長 : 液相エピキタシー

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概要

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• 日本結晶成長学会の論文
• 1987-07-10

著者

• 高柳 俊成

  東大・工・電子

• 西永 頒

  東大・工・電子

• 西永 頒

  東大工

• 西永 頒

  東京大学 大学院工学系研究科 電子工学専攻

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