スパッタリング法により生成される超微粒子 : 超微粒子

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概要

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• 日本結晶成長学会の論文
• 1985-07-05

著者

• 美浜 和弘

  名大 工

• 山内 健治

  名大工

• 八谷 繁樹

  名大 工

• 鎌倉 孝信

  名大 工

• 山内 健治

  名大 工

• 美浜 和弘

  名古屋大 大学院

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