3a-G-11 ボロン注入したシリコン単結晶の後方散乱(欠陥分布)

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概要

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• 社団法人日本物理学会の論文
• 1971-09-30

著者

• 赤坂 洋一

  三菱中研

• 米田 清

  三洋中研

• 桜井 照夫

  富士通

• 川辺 昭治

  シャープ中研

• 西 秀敏

  富士通

• 遠井 淳友

  松下中研

• 堀江 和夫

  三菱中研

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