3p-F-5 シラン-プロパン-水素の反応によるα-SiCのエピタクシアル成長

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概要

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• 社団法人日本物理学会の論文
• 1971-09-30

著者

• Gatos H.C.

  MIT

• 皆川 重量

  日立中研

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