F-1325 フェライト厚膜を用いたDC-DCコンバータ用プレーナインダクタ(S49-1 マイクロエネルギー(1))(S49 マイクロエネルギー)
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概要
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Planar inductors with ferrite layers were fabricated by means of screen printing, photo-lithograpy and electroplating. Screen printing method enable to obtain the coil spacing filled with ferrite. In this structure, since the perpendicular leakage magnetic flux is preferentially passed through the coil spacing and avoids the copper coil position, it is expected to decrease the eddy-current loss. Trial samples of planar inductor with ferrite layers achieved high quality factor of 40 to 70 at 5 MHz.
- 社団法人日本機械学会の論文
- 2001-08-22
著者
-
舘 義仁
JFEミネラル(株)技術研究所
-
福田 泰隆
川崎製鉄技術研究本部ハイテク研究所
-
井上 哲夫
東芝 セミコンダクター社
-
舘 義仁
川鉄鉱業(株)技術研究所
-
福田 泰隆
JFEスチール(株)スチール研究所
-
溝口 徹彦
東芝マイクロエレクトロニクス
-
谷田部 茂
東芝
-
福田 泰隆
川崎製鉄(株)
-
谷田部 茂
東芝 セミコンダクター社
-
井上 哲夫
東芝
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