K-1026 プラズマブースタースパッタリング(PBS)法によるトライボロジー薄膜の特性(S14-2 表面改質材の特性(2))(S14 表面改質材の特性)

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概要

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• Tribological coatings such as Cr-N, TiBN, Me-DLC(Me-C:H) were coated by Plasma Booster Sputtering(PBS) process using conventional balanced DC magnetron sputtering cathode in combination with additional DC plasma discharge between cathode and booster electrode. Seizure load and dynamic friction coefficient between coated steel substrate and steel(SCM415) was measured by pin and V-block type Faville tester. Also nano-hardness and Young's modulus was measured by nano-indenter using Berkovich diamond indenter.

• 2001-08-22

著者

• 熊谷 泰

  ナノコート・ティーエス

• 嶋村 喜三郎

  ナノコート・ティーエス

• 桑山 昇

  ナノコート・ティーエス

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