2706 マイクロ加熱沸騰現象の観察

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概要

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• We have investigated the advantageous condition to the actuator as a principle using thermal bubble by electric micro heater. A micro heater has been investigated occurrence situation of a thermal bubble by various heating energy and time. As a result, it has been observed that it becomes better if the input voltage to the heater is high and heater size is small as a trend. We have been also carried out driving possibility of actuator array that adapts to a micro pump using the examined condition. The micro actuator has been driven at responsiveness of 0.8Hz and it's displacement was 35μm.

• 一般社団法人日本機械学会の論文
• 2000-07-31

著者

• 野木森 亘

  (株)アイシン・コスモス研究所

• 成瀬 好廣

  (株)アイシン・コスモス研究所

• 入佐 耕一

  アイシン・コスモス研究所

• 野木森 亘

  アイシン・コスモス研究所

• 安藤 信二

  アイシン・コスモス研究所

• 成瀬 好廣

  アイシン・コスモス研究所

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