MC-04 MICROMACHINED ELECTROSTATIC ACTUATOR FOR R/W HEAD POSITIONING

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概要

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• This paper presents a cost-effective micromachined electrostatic actuator for read/write (R/D) head tracking positioning in hard disk drives (HDDs). Key issues on processing are discussed in consideration of integration with the process of R/W head fabrication.

• 一般社団法人日本機械学会の論文

著者

• Lu Yi

  Data Storage Institute

• Lu Yi

  Data Storage Institute A ^*(star)

• Yang Jiaping

  Data Storage Institute

• Yang Jiaping

  Data Storage Institute A ^*(star)

• CHEN Jian

  Data Storage Institute, A ^*(STAR)

• Chen Jian

  Data Storage Institute A ^*(star)

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