1015 スペックル干渉法による変位計測に関する数値的基礎研究
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概要
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This paper presents the numerical test results for the examination of the measurement accuracy of speckle interferometry. In the measurement of in-plane displacement of object surface, the technique of optical flow, which is also called spatial temporal derivative method, is employed to increase the reliability of the detected results for the range of smaller displacement. The performance test resuls in numerical simulation show that the RMS error of the optical flow is larger than that of the direct cross-correlation method for the in-plane displacement <1.5 pixel. Furthermore the validity of the numerical approach to the out-of-plane displacement measurement with speckle interferometer is confirmed.
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