OS6(5)-21(OS06W0405) Characterization of Amorphous Electrically Conductive Mo-Si-N Films for Micromechanical Applications

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概要

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• 一般社団法人日本機械学会の論文
• 2003-09-09

著者

• Blomberg Martti

  Centre For Microelectronics Vtt

• Kattelus Hannu

  Centre for Microelectronics, VTT

• Ylonen Mari

  Centre for Microelectronics, VTT

• Ylonen Mari

  Centre For Microelectronics Vtt

• Kattelus Hannu

  Centre For Microelectronics Vtt

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