OS6(3)-10(OS06W0409) Characterization of Thin Films for MEMS Optical and Electrical Device Packaging Applications

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概要

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• 一般社団法人日本機械学会の論文
• 2003-09-09

著者

• Moore David

  Engineering Dept. Cambridge Univ.

• He Johnny

  Engineering Dept., Cambridge Univ.

• Boyle P.

  Engineering Dept., Cambridge Univ.

• Hopcroft Matt

  Engineering Dept., Cambridge Univ.

• He Johnny

  Engineering Dept. Cambridge Univ.

• Hopcroft Matt

  Engineering Dept. Cambridge Univ.

• Boyle P.

  Engineering Dept. Cambridge Univ.

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