OS6(1)-3(OS06W0370) AFM Tensile Test of Sub-Micron Thick DLC Film for Surface Modification in MEMS

スポンサーリンク

概要

• 論文の詳細を見る
• 一般社団法人日本機械学会の論文
• 2003-09-09

著者

• Isono Yoshitada

  Dept. Of Mechanical Engineering Ritsumeikan Univ.

• Namazu Takahiro

  Dept. Of Mechanical System Himeji Inst. Of Tech.

関連論文

• OS6(1)-3(OS06W0370) AFM Tensile Test of Sub-Micron Thick DLC Film for Surface Modification in MEMS

スポンサーリンク