OS6(1)-1(OS06W0384) Young's Modulus Measurement of Polysilicon Thin Film Using Thin Film Tensile Tester Equipped with Electrostatic Force Grip

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概要

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• 一般社団法人日本機械学会の論文
• 2003-09-09

著者

• Tsuchiya Toshiyuki

  Semiconductor Device & Sensor Lab. Toyota Central R & D Labs. Inc.

• Funabashi Hirofumi

  Semiconductor Device & Sensor Lab., Toyota Central R & D Labs. Inc.

• Funabashi Hirofumi

  Semiconductor Device & Sensor Lab. Toyota Central R & D Labs. Inc.

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