OS4(1)-1(OS04W0010) GIXRD Residual Stress Analysis on CVD Tantalum Thin Films
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概要
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- 一般社団法人日本機械学会の論文
- 2003-09-09
著者
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Seiler W.
Lm3-cnrs-ensam
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Peng J.
LM3-CNRS-ENSAM
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Ji V.
LM3-CNRS-ENSAM
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Levesque A.
LPMI-ENSAM
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Bouteville A.
LPMI-ENSAM
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Braham C.
LM3-CNRS-ENSAM