超精密加工における光技術 : 測長用干渉計のHe-Neレーザと半導体レーザ(<小特集>機械工学における光応用技術)

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概要

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• 一般社団法人日本機械学会の論文
• 1988-03-05

著者

• 太田 成賢

  (株)ミツトヨ

• 太田 成賢

  (株)ミツトヨ研究開発本部計測技術研究所

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