セラミックスの鏡面仕上に関する研究 : 第1報, 超仕上盤による窒化けい素(Si_3N_4)の鏡面仕上について
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概要
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The purpose of this study is to investigate the possibility of mirror finishing of ceramics by superfinishing. This report describes superfinishing of silicon nitride ^#(Si_3N_4), which is one kind of ceramics. As a result, mirror finishing by a superfinishing machine was found to be possible, and the result is reported.
- 一般社団法人日本機械学会の論文
- 1992-08-25
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