蒸着膜に生じる残留応力について
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概要
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The method of estimating residual stresses in a film and a substrate has been proposed through use of the relationship between inherent strains and inherent stresses which is a kind of an inverse problem. The well-known method for determining the residual stress was the use of Stoney's equation estimating the average residual stress in the film from a deflection of the substrate. The proposed method focuses on the inherent strain generating the inherent stress such as a residual stress, then the strain is estimated from the relationship between the thickness of film and the deflection. The new method does not require the assumption of the constant stress in the film, and the stresses in the film and the substrate are simultaneously calculated from the inherent strain.
- 1993-11-25
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