プラズマCVD法によるSiC超微粉末の低圧合成

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概要

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• 社団法人日本セラミックス協会の論文
• 1985-09-01

著者

• 小西 幹郎

  住友大阪セメント(株)

• 小西 幹郎

  住友セメント(株)新規事業本部

• 木島 弐倫

  無機材質研究所

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