自由電子レーザの半導体分野への応用(<特集>半導体エレクトロニクス)
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概要
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The present status and prospects of FEL application in the field of semiconductor science including material physics, material processing and device physics are reviewed in this paper. Free Electron Laser (FEL) has some advantages such as wavelength tunability, high peak power and ultra short pulse width. There are many interesting subjects not only in the semiconductor science but in all other natural science fields using FEL. Many reserch subjects are expected to grow up actively in the near future.
- 社団法人日本材料学会の論文
- 2001-04-15
著者
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