プラズマ衝撃CVD法によるドープト合成シリカガラスの厚膜コーティング : 光学素子

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概要

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• プラズマ衝撃CVD法は,光ファイバーのプリフォームや誘導体ミラーの製造に用いられているが,管内や平面基板上に超低損失ドープトシリカガラスの厚膜をコーティングすることにも適用できる.この方法の最大の利点は,連続的な屈折率分布をもつ厚膜を形成できることにある.本論文では,プラズマ衝撃CVD法の広波長域低分散単一モードファイバーと格子フィルターへの適用について述べる.

• 1991-10-01

著者

• Kersten Ralf

  Schott Glaswerke

• OTTO Juegen

  SCHOTT Glaswerke

• PAQUET Volker

  SCHOTT Glaswerke

• Otto Jurgen

  SCHOTT Glaswerke

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