ゾルゲル法による薄膜の形成 : 薄膜

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概要

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ディップ法(又はスピニング法)によるゾルゲル薄膜の形成は急激な溶媒の蒸発を伴った重力(又は遠心力)による溶媒の排出を含んでいる.ディップの途中で一定な膜厚プロファイルが形成され,そのプロファイルは,構成溶液の蒸発速度や流れによって生じる表面張力の勾配によって決まる.ゾルに含まれている無機元素は溶媒の蒸発とともに濃縮され,膜形成プロセスの最後の段階で大きくなる毛細管力によって気液界面のメニスカスをゲル内部へ引き込みち密化される.生成膜の重要な特性である徴構造(気孔率,表面積,気孔径)は無機元素の種類や大きさ,膜の生成途中での濃縮や蒸発の相対的な速度,毛細管力の大きさ,生成に伴うせん断力に依存している.
社団法人日本セラミックス協会の論文
1991-10-01

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