ムライト-ガラス系基板材料の検討

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概要

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• Mullite (3Al_2O_3・2SiO_2) has a low thermal expansion coefficient and low dielectric constant, so it is a favorable material for substrate applications. It is difficult, however, to sinter pure mullite ceramics even above 1700℃. Thus, mullite ceramics containing glass additives (Al_2O_3-MgO-SiO_2 glass) which could be sintered at about 1600℃ were fabricated and their properties were investigated. At about 90 wt% of silica content in glass, the mullite ceramics has a low dielectric constant (5.9), high bending strength (210MPa) and low thermal expansion coefficient (3. 5 × 10^<-6>/℃). From electron diffraction analysis, sillimanite (Al_2O_3・SiO_2) crystals were observed at boundaries of these ceramics. These ceramics showed little grain growth, responsible for their high bending strength. Substrate of mullite ceramics are suitable for mounting silicon devices.

• 社団法人日本セラミックス協会の論文
• 1990-04-01

著者

• 荻原 覚

  (株)日立製作所日立研究所

• 坂元 耕三

  (株)日立製作所日立研究所

• 牛房 信之

  (株)日立製作所日立研究所

• 永山 更成

  (株)日立製作所日立研究所

• 永山 更成

  日立 日立研

• 荻原 覚

  日立 日立研

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