Sputtered Al_2O_3-Si系の界面に及ぼす熱処理効果 : 半導体 (表面)

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概要

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• 社団法人日本物理学会の論文
• 1969-03-30

著者

• 前川 俊一

  富士通第2半導体技術部

• 豊蔵 信夫

  富士通第2半導体技術部

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