GaAs/絶縁膜界面の歪みの検討 : 半導体 (表面)

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概要

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• 社団法人日本物理学会の論文
• 1969-03-30

著者

• 渡辺 正晴

  東芝半導体技術部

• 大井 隆

  中研

• 中井 康雄

  中研

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