イオン打ち込みによる不純物原子のドーピング (5) : 半導体 (拡散・インプランテーション)

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概要

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• 社団法人日本物理学会の論文
• 1969-03-30

著者

• 伊藤 糾次

  早大理工学部

• 稲田 太郎

  早大理工

• 石木 正大

  早大理工

• 真鍋 研司

  早大理工

• 丹羽 淳一郎

  早大理工

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