Epitaxial成長によるパターンの歪みと偏移 : 半導体 (拡散・インプランテーション)

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概要

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• 社団法人日本物理学会の論文
• 1969-03-30

著者

• 石原 達夫

  沖電気・八王子

• 赤羽 功司

  沖電気・八王子

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