絶縁膜によるシリコンの歪と特性への影響 : X線・粒子線

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概要

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• 社団法人日本物理学会の論文
• 1969-03-30

著者

• 藤原 克彦

  三菱電機北伊丹

• 行本 喜則

  三菱電北伊丹

• 梶原 康也

  三菱電機北伊丹

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