イオン衝撃薄片化における傾斜衝撃効果 : 表面物理, 薄膜

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概要

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• 社団法人日本物理学会の論文
• 1966-03-31

著者

• 永田 三郎

  神大工

• 友田 泰行

  関大工

• 野沢 静子

  関大工

• 阿部 泰三

  神港精機

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