グロー放電スパッタ : 薄膜真空シンポジウム : Sputtering

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概要

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• 社団法人日本物理学会の論文
• 1966-03-31

著者

• 小野寺 大

  東北大學電気通信研究所

• 光岡 洸

  東北大學電気通信研究所

• 佐藤 透

  東北大學電気通信研究所

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