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Si酸化膜の性質 : 半導体(結晶成長, Device (酸化膜))
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社団法人日本物理学会の論文
1966-03-31
著者
白幡 竜司
富士通研究所
塚越 厚生
富士通研究所
鯰 了介
富士通研究所
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