シリコンプレーナ形トランジスタの異常劣化現象 : 半導体(結晶成長, Device (酸化膜))

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概要

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• 社団法人日本物理学会の論文
• 1966-03-31

著者

• 和野 等

  通研

• 横川 俊樹

  沖電気

• 吉川 直幹

  沖電気

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