2p-Q-6 アモルファス炭素膜成膜におけるその場測定

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概要

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• 社団法人日本物理学会の論文
• 1990-03-16

著者

• 三重 野哲

  静岡大学・理

• 坂田 将光

  静岡大学・理

• 山際 啓一郎

  静岡大学・理

• 三重 野哲

  静大-理

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