29p-Q-2 シリコンの結晶成長と欠陥

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概要

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• 社団法人日本物理学会の論文
• 1980-03-12

著者

• 松下 嘉明

  超lsi技術研究組合共同研究所

• 飯塚 隆

  超LSI技術研究組合共同研究所

• 岸野 正剛

  超LSI技術研究組合共同研究所

• 吉広 尚次

  超LSI技術研究組合共同研究所

• 飯塚 隆

  光技術共同研究所

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