28pXJ-2 Reactor design and feature profile prediction for next generation of plasma processing and related fundamental collision processes

スポンサーリンク

概要

• 論文の詳細を見る
• 社団法人日本物理学会の論文
• 2004-03-03

著者

• Makabe Toshiaki

  Integrated Design Engineering Keio University

関連論文

• 28pXJ-2 Reactor design and feature profile prediction for next generation of plasma processing and related fundamental collision processes

スポンサーリンク